精細金屬光罩(FMM)、精細光罩(FPM)與噴墨打印 (IJP)OLED 工藝對比分析
謝勤益 David Hsieh, 顯示研究總經理
主要結論
• 精細光罩(FPM)OLED 工藝的主要挑戰在於良率,而噴墨打印(IJP)OLED 工藝的主要挑戰則在於可溶性 OLED 材料的性能,尤其是其壽命方面。 FMM vs. FPM vs. IJP OLED 在 OLED 面板製造中,將 OLED 材料蒸鍍到顯示陣列背板上是關鍵工藝之一。自問世以來,精細金屬光罩(FMM)方法已經成為該沉積工藝的主流技術。在 FMM 工藝中,通過在蒸鍍腔內蒸發 OLED 材料,並利用精確製作的 FMM 光罩描繪子像素圖案,將 OLED 圖案有效轉移到TFT背板上。 目前,FMM OLED 工藝是唯一成熟並實現量產的方法,但其存在以下缺點:
• FMM 光罩成本高,且 OLED 材料利用率低
• 新面板設計與開發周期長
• 蒸鍍及清腔過程中會產生化學殘留
• OLED 像素開口率低
基於上述問題,一些廠商開始研發替代性 OLED 沉積工藝,主要包括 FPM 和 IJP。日本的JDI在其 eLEAP OLED 技術中採用了 FPM 工藝,而 JOLED 的 IJP OLED 技術則是噴墨打印的代表。
FPM OLED 工藝採用傳統光刻法將 OLED 材料光刻到TFT基板上;而 IJP OLED 工藝則使用專門研發的噴墨打印機以及特殊的可溶性發光材料,將 OLED 元件直接打印到 TFT 陣列基板的像素圖案上。
FPM 和 IJP 技術最初由 JDI 和 JOLED 等日本面板廠商研發,但在 JDI 與 JOLED 停止投入後,中國面板廠商如維信諾(Visionox)和華星光電(China Star)開始通過研發探索這些技術。維信諾開發了自有的 Visionox Intelligent Pixelization(ViP)技術,與 JDI eLEAP 類似,但已擴展至 8.6 代線。華星光電則收購了 JOLED 的 IJP OLED 產線,將設備遷至武漢 T5 6 代 LTPS 工廠進行試產。
維信諾與華星光電均計劃投資新建 8.6 代(2290×2620mm)OLED 產線。維信諾將在未來的 V5 8.6 代廠中採用 ViP 技術生產 IT OLED 面板;華星光電則將在新建的 T8 8.6 代廠中採用 IJP 技術,生產筆記本、平板及智能移動設備用 OLED 面板。與此同時,LG Display 與三星顯示也在探索採用 FPM 工藝生產面板。
圖 1 展示了在 8.6 代(2290×2620mm)條件下,FMM、FPM 和 IJP OLED 工藝的一般對比。

Omdia 觀察如下:
• 材料利用率
IJP OLED 技術在 OLED 材料利用效率方面最高,可最大限度減少浪費,其次是 FPM 技術。相比之下,傳統 FMM 蒸鍍方法的 OLED 材料利用率僅處於一般水平,這也是其製造成本較高的原因之一。
• 材料性能
不同製造方法對 OLED 材料的性能表現存在差異。傳統 FMM蒸鍍技術可實現最佳的 OLED 材料性能,FPM 的表現也較為理想。但 IJP 工藝使用的可溶性 OLED 材料在壽命和亮度效率方面仍面臨挑戰。華星光電正積極與中國大陸 OLED 材料廠商合作解決這些問題,但成果尚未完全驗證量產。
• 開口率與亮度效率
FPM 具備最佳開口率,理論上像素開口率可達 60–70%;受設計與結構限制,FMM 的開口率最低,僅約 30%;IJP 也可達到最高約 60%。開口率越高,OLED 材料可提供的亮度與色彩顯示能力越強,因此 FPM 在亮度效率上更優,有望降低功耗。FMM 的亮度效率處於中等水平,而 IJP 的亮度效率仍有提升空間,尤其受可溶性材料特性影響。
• 製造挑戰
o FMM:主要問題是金屬光罩和玻璃基板的下垂(Sagging),以及對位精度不足。
o FPM:FPM OLED 工藝設備的主要開發商是美商應材 (Applied Materials),且其掌握大量相關專利(IP),這意味著面板廠商在設備供應商選擇上會面臨局限。設備及售後維護成本是重要的運營支出。儘管 FPM 工藝有可能降低面板生產成本,但其乾式刻蝕良率存在挑戰,需要在 TFT 陣列背板上進行特殊的乾式刻蝕來實現 OLED 光刻,這可能影響預期的成本節省。
o IJP:受限於可溶性 OLED 材料的供應及噴頭精度,這會影響面板分辨率。華星光電計劃自行研發 IJP OLED 設備與材料,但供應鏈將因此有限。
• 多尺寸混切 (MMG)
FPM OLED 在多尺寸混切上具有顯著優勢,其工藝與 TFT LCD 光刻相似。而 FMM 蒸鍍技術無法支持 MMG,因此只能在 Gen 8.6 基板上實現最高玻璃基板利用率的產品,靈活性較低。MMG 技術可在相同產能下生產多種尺寸面板;FMM 在更改面板尺寸時需要更換整套設備、模組與光罩,生產靈活性大幅降低。理論上 IJP 也可支持 MMG。
• 產品開發週期
FMM 的產品開發週期較長,每推出新尺寸或分辨率的面板都需重新製作一套光罩,任何設計變更也需更換光罩。金屬光罩市場過去主要由 DNP 和凸版印刷壟斷,但近年韓國與中國大陸出現多家本地供應商,價格有所下降。相比之下,FPM 與 IJP 在新面板開發週期上都更短。
• 製造成本潛力
理論上,IJP OLED 工藝因其高材料利用率與高產能,有潛力實現最低的 OLED 面板製造成本,FPM 工藝緊隨其後。但需注意,IJP 和 FPM OLED 工藝目前均未實現大量量產。
FMM、FPM 與 IJP 的指標比較
表 1 對三種 OLED 製造技術的關鍵指標進行了比較
表 1:按製造技術劃分的 OLED 對比

Omdia 分析如下:
• 影像品質
FMM 提供基準水平的影像品質,FPM 理論上可憑藉較高的開口率和出色的亮度效率實現更高的畫質。
• 主要優勢
FMM 工藝最為成熟,目前已涵蓋從 6 代到 8.6 代 OLED。FPM 擁有高開口率並可消除橫向漏光,但尚未進入 6 代量產,直接跨越到 8.6 代存在挑戰。IJP 具備高開口率和低成本等優勢。
• 開口率
FMM 的像素開口率約為 25%–30%,FPM 與 IJP 均為 50%–60%,但實現高開口率可能會伴隨一定取捨。
• 主要挑戰
FMM 的核心問題是製造成本高;FPM 的最大不確定性在於良率;IJP 的可行性主要受 OLED 材料性能限制。
• 面板適配性
FMM 適合生產中小尺寸 OLED 面板,解析度可高可低,但由於蒸鍍工藝及 OLED 材料佈局,通常針對特定像素與子像素設計進行優化。FPM 和 IJP 更適合 RGB 條紋結構的子像素。IJP 可生產中大型、中解析度 OLED 面板;FPM 理論上可支援比 FMM 更廣的解析度範圍。
• 最大可用玻璃尺寸
三種工藝的最大玻璃尺寸預計到 2026 年可達到 8.6 代OLED。目前,FMM 最大為 6 代,FPM 與 IJP 目前均為 5.5 代; 但即將往8.6代OLED邁進。
• 多尺寸混切(MMG)
FMM 不支援 MMG,FPM 與 IJP 可實現該功能。
• 亮度
FMM 提供基準亮度,FPM 可達到基準亮度的 2 倍,IJP 介於 FMM 與 FPM 之間。
• 材料利用率
FMM OLED 材料利用率約 30%,FPM 可達 50%,IJP 最高可達 95%。
• 功耗
得益於高開口率與像素結構,FPM 的功耗最低;IJP 因可溶性 OLED 材料壽命與效率問題,功耗可能更高。
• 解析度
理論上,FPM 可透過光刻實現最高 2000 PPI 解析度;FMM 最高可達 1000 PPI;IJP 廠商目前展示的原型面板最高為 350 PPI。
• Tandem RGB 相容性
Tandem 發光結構特別適用於高端移動 PC 和車載顯示,但成本高。一些客戶將 Tandem RGB OLED 作為高端產品重點需求。FMM 與 FPM 均可支援 Tandem RGB OLED,IJP 則不支援,這可能限制其在高端 OLED 市場的競爭力。
• 產品開發週期
FMM 根據產品類型與光罩可用性,需要數週至數月;FPM 需要數週;IJP 最短,因為其噴墨設備可隨時生產新產品,且無需光罩或新工裝設計(部分情況下可複用 OPM 模板),因此可在數天至數週內完成新品開發,具體取決於產品複雜度。
面板廠商在 FPM 與 IJP 方面的策略
圖 2 展示了面板廠商在基於 FPM 光刻的 RGB OLED 像素圖案化方面的策略。這些策略,尤其是 LG Display 與惠科顯示(HKC Display)的部分,為 Omdia 的推測。
圖 2:面板廠商 FPM 策略路線圖(Omdia 推測)

備註:包含Omdia的推測,LG Display和惠科顯示(HKC Display)的策略尚在開發中
資料來源:Omdia
基於上述推測,維信諾(Visionox)應是首個推進至8.6代FPM OLED量產的廠商,未來可能由LG Display跟進,隨後是惠科。儘管FPM量產計畫存在多項假設和不確定性,但由於其在提升畫質、多樣性及成本競爭力方面的潛力,業界對開發和測試FPM的興趣日益濃厚。
在2025年SID Display Week展會上,維信諾展示了多款面板,包括了:
• 14.2吋基於LTPS-TFT的OLED顯示屏,解析度為3120×2880,採用ViP技術
• 6.7吋基於LTPO+的智慧型手機用OLED顯示屏,採用ViP技術
• 6.1吋基於LTPO的智慧型手機用OLED顯示屏,採用ViP技術
• 1.43吋圓形基於LTPS-TFT的智慧手錶用OLED顯示屏,採用ViP技術
維信諾特別指出,其ViP技術在OLED製造工藝上帶來了創新性改進,具體提升包括:
• 開口率提升至最高69%,而傳統FMM僅為29%
• 由於開口率提高,功耗降低38%
• 亮度提升高達4倍
• 壽命延長至最高6倍
• 像素密度最高可達1700 PPI
圖3:維信諾(Visionox)的ViP技術

另一方面,華星光電在收購JOLED的噴墨打印(IJP)OLED設備後,積極發展自身的IJP OLED技術實力、材料供應鏈、設備合作夥伴、製造工藝及專利佈局。華星光電已開始在其T5 6代LTPS工廠安裝IJP OLED產線,並成功製造了多個原型OLED面板。此外,公司還制定了長期規劃,致力於生產基於氧化物(oxide)的IJP OLED。目前,華星光電正處於投資T8 8.6代氧化物IJP OLED產線的可行性評估的最後階段。
在2025年SID Display Week展會上,華星光電展示了以下原型產品:
• 6.5吋智慧手機用IJP OLED顯示屏,採用T5 6代工廠生產的LTPS背板
• 14吋平板用IJP OLED顯示屏,解析度為1920×1200,採用T5 6代工廠生產的LTPS背板
• 全球首款14吋氧化物IJP OLED筆記本顯示屏,解析度為2880×1800,採用T9 8.6代氧化物TFT工廠生產的氧化物背板
• 16吋240Hz筆記本用IJP OLED顯示屏,解析度為2560×1600,採用T5 6代LTPS工廠生產的LTPS背板
• 21.6吋4K專業應用級IJP OLED顯示屏,解析度為3840×2160,採用T5 6代LTPS工廠生產的LTPS背板
• 27吋4K 120Hz顯示器用IJP OLED顯示屏,解析度為3840×2160,採用T5 6代LTPS工廠生產的LTPS背板
• 65吋IJP OLED大屏,採用T9 8.6代氧化物TFT工廠生產的氧化物背板
這些產品展示表達了維新諾跟華星光電分別在FPM OLED 與噴墨打印式OLED等已經實現技術可行性, 接下來便是其邁向Gen8.6 OLED量產化的主要關鍵時間點.